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晶圆光学检测机
--用于检测晶圆外观缺陷、颗粒等
--采用高精度相机进行图像收集
--采用激光位移传感器扫描并获取产品弯曲情况
--根据产品弯曲情况实时调整相机工作距离
--采用机器人3D引导进行产品抓取和存放
适用产品
--半导体Wafer
--半导体基板
产品参数