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半导体3D视觉检测

--自动检测半导体芯片的各类缺陷
--利用3D视觉技术在线检测半导体芯片表面脏污
--可自动分选缺陷产品
--高精度的运动平台

适用产品
--半导体芯片
--半导体基板
--半导体零部件
产品参数